飞秒激光三维直写光刻设备

作者:本站编辑点击:时间:2021-04-13

1、设备参数

飞秒激光三维直写系统的激光器为2W绿光飞秒激光器,中心波长515nm,平均功率2.39W,脉冲宽度474fs,重复频率4.91MHz,线偏振,方向为水平,脉冲能量为478nJ,输出光斑直径为2mm,功率稳定度为0.39RMS。

2、简介

由计算机控制高精度激光束扫描,利用强度可变的激光束对基片表面的抗蚀材料实施变剂量曝光,显影后在抗蚀层表面形成所要求的浮雕轮廓。

3、功能(应用)

制造高分辨率三维微纳结构。